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寶德傳感器的靜態(tài)特性是什么？

更新時間：2019-02-28      瀏覽次數(shù)：2496
 　　寶德傳感器的靜態(tài)特性是什么？
　　寶德傳感器是工業(yè)實踐、儀器儀表控制中較為常用的一種傳感器，并廣泛應用于各種工業(yè)自控環(huán)境，涉及水利水電、鐵路交通、自控、航空航天、石化、油井、電力、船舶、機床、管道等眾多。是利用單晶硅材料的壓阻效應和集成電路技術制成的傳感器。壓阻式傳感器常用于壓力、拉力、壓力差和可以轉變?yōu)榱Φ淖兓钠渌锢砹浚ㄈ缫何?、加速度、重量、應變、流量、真空度）的測量和控制。
　　寶德傳感器采用集成工藝將電阻條集成在單晶硅膜片上，制成硅壓阻芯片，并將此芯片的周邊固定封裝于外殼之內，引出電極引線。它不同于粘貼式應變計需通過彈性敏感元件間接感受外力，而是直接通過硅膜片感受被測壓力的。硅膜片的一面是與被測壓力連通的高壓腔，另一面是與大氣連通的低壓腔。硅膜片一般設計成周邊固支的圓形，直徑與厚度比約為20～60。在圓形硅膜片（N型）定域擴散4條P雜質電阻條，并接成全橋，其中兩條位于壓應力區(qū)，另兩條處于拉應力區(qū)，相對于膜片對稱。硅柱形敏感元件也是在硅柱面某一晶面的一定方向上擴散制作電阻條，兩條受拉應力的電阻條與另兩條受壓應力的電阻條構成全橋。
　　寶德傳感器由于技術特性優(yōu)良、體積小、結構緊湊，廣泛應用于工程機械等工業(yè)域。一般的傳感器的精度隨測量介質的溫度而變化，而寶德傳感器在此方面具有優(yōu)良的特征。它的靜態(tài)特性是指對靜態(tài)的輸入信號，傳感器的輸出量與輸入量之間所具有相互關系。因為這時輸入量和輸出量都和時間無關，所以它們之間的關系，即傳感器的靜態(tài)特性可用一個不含時間變量的代數(shù)方程，或以輸入量作橫坐標，把與其對應的輸出量作縱坐標而畫出的特性曲線來描述。
　　寶德傳感器的靜態(tài)特性：
　　1、線性度：指輸出量與輸入量之間的實際關系曲線偏離擬合直線的程度。定義為在全量程范圍內實際特性曲線與擬合直線之間的偏差值與滿量程輸出值之比。
　　2、靈敏度：靜態(tài)特性的一個重要指標。其定義為輸出量的增量與引起該增量的相應輸入量增量之比。用S表示靈敏度。
　　3、遲滯：在輸入量由小到大(正行程)及輸入量由大到小(反行程)變化期間其輸入輸出特性曲線不重合的現(xiàn)象成為遲滯。對于同一大小的輸入信號，寶德傳感器的正反行程輸出信號大小不相等，這個差值稱為遲滯差值。
　　4、重復性：重復性是指在輸入量按同一方向作全量程連續(xù)多次變化時，所得特性曲線不一致的程度。
　　5、漂移：漂移是指在輸入量不變的情況下，傳感器輸出量隨著時間變化，此現(xiàn)象稱為漂移。產生漂移的原因有兩個方面：一是傳感器自身結構參數(shù);二是周圍環(huán)境(如溫度、濕度等)。
　　6、分辨力：當輸入從非零值緩慢增加時，在超過某一增量后輸出發(fā)生可觀測的變化，這個輸入增量稱寶德傳感器的分辨力，即輸入增量。
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